Kalibrierinterferometer

Die neuartigen 5 DOF-Kalibrierinterferometer mit einem Längenmessbereich von mindestens 15 m sind für hochgenaue Längen- Winkel- und Geradheitsmessungen an Maschinen- und Positionierachsen konzipiert. Die hochgenaue, dynamische Erfassung von Führungseigenschaften bei der Justage und Ausrichtung von Maschinenachsen sowie die normgerechte Kalibrierung der Achsen sind sehr arbeits- und zeitintensiv. Das Kalibrier-Laserinterferometer SP 15000 C5 wurde für die Ansprüche von Maschinenund Geräteherstellern entwickelt. Damit sind synchrone, kontinuierliche 5 DOF-Messungen möglich. Alle Messgrößen Länge, Nickwinkel, Gierwinkel und Geradheit werden hochgenau laserinterferometrisch erfasst, wobei in allen drei Längenmesskanälen die gleiche hochstabile Laserfrequenz genutzt wird. Bei der kompakten Geradheitsoption ist der Geradheitsspiegel direkt am Sensorkopf angebracht. Somit müssen nur noch zwei Komponenten aufgebaut und zueinander ausgerichtet werden. Auch bei beengten Platzverhältnissen, speziell in Werkzeugmaschinen kann das Messsystem nun schnell und zuverlässig installiert werden. Die Lichtwellenleiterkopplung des Sensorkopfes und die integrierte Strahlrichtungsdetektion unterstützen die einfache Handhabung und Justage. Bei großen Messbereichen oder Kalibrieraufgaben wird der Einsatz mit drahtlosen Temperatursensoren oder der Klimastation LCS empfohlen.