Entgasen und Reinigen, zum Beispiel von Graphitbauteilen zur Reduzierung des Aschegehalts.
Blank- und Spannungsfeinglühen.
Recycling von kontaminierten Graphitbauteilen, beispielsweise aus Epitaxieprozessen MOCVD.
CVD-Beschichten von Graphit mit Siliziumkarbid (SiC).
Sintern.
Infiltrieren.
Vakuum- und Schutzgaslöten.
Mehr zur Technologie
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