Die Oxidation in einer Plasmaatmossphäre wird bevorzugt als Korrosionsschutzbehandlung für Bauteiloberflächen angewandt.
Sie erfolgt mit einem sauerstoffabgebenden Medium, das durch den Zerfall von Eisennitriden und Oxidation mit Eisen dünne, chemisch hochbeständige Eisenoxidschichten bildet.
Die Randzonen von nitrierten und unbehandelten Bauteilen sind dadurch geglättet und "versiegelt", so dass eine weitere Sauerstoffaufnahme verhindert wird.